具單光柵波導之非對稱布拉格耦合聚合物過濾器的製造方法
專利名稱 具單光柵波導之非對稱布拉格耦合聚合物過濾器的製造方法
專利證書號 I456276
專利權人 國立虎尾科技大學
專利國家 台灣,
發明人 莊為群
應用領域 機械與機電自動化工程類
 
專利商品特色:
本發明係有關於一種具單光柵波導之非對稱布拉格耦合聚合物過濾器的製造方法。其於基板上覆設負光阻薄膜。對負光阻曝光成型波導圖樣以做為模子。此模子接著被用來產生一具有波導圖樣的矽膠圖章。然後此矽膠圖章再被用來將波導圖樣移轉到紫外光聚合物的包覆層。此包覆層被注入波導核心,並覆蓋上覆蓋層,最後完成具單光柵波導之非對稱布拉格耦合聚合物過濾器之製作。



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