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激光直寫式納米週期性結構圖案製造設備 |
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 專利名稱 |
激光直寫式納米週期性結構圖案製造設備
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| 專利證書號 |
CN201110170522.2
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| 專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
| 專利國家 |
大陸, |
| 發明人 |
覺文郁,沈金鐘,楊錦添,劉建宏,朱朝居,吳家鴻,黃俊杰,段黎黎,李源欽 |
| 應用領域 |
機械與機電自動化工程類 |
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專利商品特色：
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本發明關於一種鐳射直寫式納米週期性結構圖案製造設備，設有一平臺組、一測量回饋組及一鐳射直寫頭組，該平臺組設有一底座及一混合式移動平臺，該測量回饋組與平臺組相結合且設有一鐳射干涉儀、一反射裝置及一信號接收裝置，該鐳射直寫頭組設有一鐳射直寫頭、一鐳射直寫頭控制介面裝置及一對位元介面裝置，該對位元介面裝置與測量回饋組及鐳射直寫頭控制介面裝置相電性連接，提供一可產生任意圖形及晶格排列的納米孔洞、突破光學繞射極限縮小記錄點、提高加工速度、精度及加工範圍且成本低的結構圖案製造設備。
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聯繫方式 |
| 聯絡人： 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
 與我連絡 |
| 地址： 632雲林縣虎尾鎮文化路64號 |
電話： 05-631-5561 |
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