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奈米級光學對位及壓印調平裝置 |
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 專利名稱 |
奈米級光學對位及壓印調平裝置
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| 專利證書號 |
M485590
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| 專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
| 專利國家 |
台灣, |
| 發明人 |
覺文郁,沈金鐘,謝東賢,吳家鴻,陳俊仁 |
| 應用領域 |
光電與電子類 |
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專利商品特色：
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一種奈米級光學對位與壓印調平設備，設有一框架組、一對位模組及一壓印模組，該框架組設有一基座、一升降座及一上框架，該對位模組與該框架組相結合且設有一對位平台、一壓電調整平台、一干涉儀回授組、一三角雷射回授組及一標記影像辨識組，該壓印模組與該框架組及該對位模組相結合且設有一上模組、一下模組及一標準校正模具，在進行壓印時利用該壓電調整平台與該三角雷射回授組進行調平，使上、下模具保持平行，讓壓印成品的厚度精密度高而提升成品的品質及良率，提供一對位精密度高且可即時監控的奈米級光學對位及壓印調平裝置者。
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聯繫方式 |
| 聯絡人： 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
 與我連絡 |
| 地址： 632雲林縣虎尾鎮文化路64號 |
電話： 05-631-5561 |
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