利用電漿增強化學氣相沉積技術在可撓式塑膠基板上連續沉積有機無機多層水氣阻障層之方法及其製品
專利名稱 利用電漿增強化學氣相沉積技術在可撓式塑膠基板上連續沉積有機無機多層水氣阻障層之方法及其製品
專利證書號 I408249
專利權人 國立虎尾科技大學
專利國家 台灣,
發明人 劉代山,吳政洋,陳文政,林柏宇,賴聖志
應用領域 材料與能源工程類
 
專利商品特色:
本發明係有關一種利用電漿增強化學氣相沉積技術在可撓式塑膠基板上連續沉積有機/無機多層水氣阻障層之方法及其製品,主要係利用單一電漿增強化學氣相沉積系統,藉由調控製程中四甲基矽烷單體流量及四甲基矽烷與氧氣混合氣體流量比例,在相同射頻功率及製程壓力條件下,在可撓式塑膠基板上連續沉積至少一對有機矽基薄膜以及無機氧化矽薄膜之多層膜結構,並搭配表面有機矽基疏水層特性改質薄膜,提升可撓式塑膠基板的阻水氣滲透能力,該新穎之多層膜結構具有簡化薄膜製程流程之創新性與降低設備成本以提高經濟效益考量之進步性等特性,據以提升軟性塑膠元件之操作穩定性與使用可靠度。



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