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高解離率電漿產生方法及其應用裝置 |
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 專利名稱 |
高解離率電漿產生方法及其應用裝置
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| 專利證書號 |
I422288
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| 專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
| 專利國家 |
台灣, |
| 發明人 |
雷伯薰,莊賦祥,曾詠信,鍾孟融,丁明君,高慧芳 |
| 應用領域 |
材料與能源工程類 |
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專利商品特色：
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一種高解離率電漿產生方法及其應用之電漿產生裝置，係於電漿產生裝置內部所構成之一反應腔體中設置一直流電極裝置及一交流電極裝置，該交流電極裝置設於該反應腔體周圍且對應位於該直流電極裝置下方；用以產生電漿之反應氣體係導入直流電極裝置使經直流電壓解離產生電漿，該直流電極裝置未解離或未完全解離之反應氣體則向下流至該交流電極裝置經射頻交流電壓解離產生電漿。
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聯繫方式 |
| 聯絡人： 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
 與我連絡 |
| 地址： 632雲林縣虎尾鎮文化路64號 |
電話： 05-631-5561 |
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