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線性平台五自由度量測系統 |
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 專利名稱 |
線性平台五自由度量測系統
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| 專利證書號 |
I426229
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| 專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
| 專利國家 |
台灣, |
| 發明人 |
劉建宏,鄭仲翔 |
| 應用領域 |
光電與電子類 |
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專利商品特色：
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一種線性平台五自由度量測系統，主要由一光學量測系統及一反射量測系統所構成，該光學量測系統為提供一光源以一光束入射於一光柵，使該光柵產生正負一階與正負二階繞射光，該正負二階繞射光並由二位置感測器接收以量測四個自由度的移動訊號；該反射量測系統分別為以第一反射鏡與第二反射鏡接收正負一階繞射光，以再分別產生正負一階反射光入射於分光鏡，以產生正負一階反射光與正負一階穿透光，該正一階反射光與負一階穿透光形成第一合成光，該負一階反射光與正一階穿透光形成第二合成光，該合成光又經二檢偏元件後則入射二位置感測器以接收干涉光訊號。
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聯繫方式 |
| 聯絡人： 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
 與我連絡 |
| 地址： 632雲林縣虎尾鎮文化路64號 |
電話： 05-631-5561 |
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