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一種五自由度光學尺系統 |
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 專利名稱 |
一種五自由度光學尺系統
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| 專利證書號 |
I414747
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| 專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
| 專利國家 |
台灣, |
| 發明人 |
劉建宏,鄭仲翔 |
| 應用領域 |
光電與電子類 |
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專利商品特色：
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一種五自由度光學尺系統，主要係由一光學量測單元與一反射量測單元所構成，該光學量測單元，為提供一雷射二極體作為光源以一光束入射於一反射式光柵，使該反射式光柵產生正負一階繞射光，該正負一階繞射光並由位置感測器接收以量測四個自由度的移動訊號；該反射量測單元，以第一分光鏡與第二分光鏡接收正負一階繞射光，再以反射定律分別將正負一階反射光導入第三分光鏡，以產生正負一階反射光與正負一階穿透光，該正一階反射光與負一階穿透光形成第一合成光，該負一階反射光與正一階穿透光形成第二合成光，該第一合成光與第二合成光又分別經檢偏器後則入射兩個光檢測器以接收干涉光束訊號。
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聯繫方式 |
| 聯絡人： 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
 與我連絡 |
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電話： 05-631-5561 |
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