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混合式六自由度奈米級精密定位平台系統 |
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 專利名稱 |
混合式六自由度奈米級精密定位平台系統
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| 專利證書號 |
I425334
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| 專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
| 專利國家 |
台灣, |
| 發明人 |
覺文郁,沈金鐘,劉建宏,吳家鴻,盧群中,余英代 |
| 應用領域 |
機械與機電自動化工程類 |
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專利商品特色：
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本發明是關於一種混合式六自由度奈米級精密定位平台系統，設有一平台組、一量測回授組及一控制組，該平台組設有一底座、一雙軸滑軌平台及一微動壓電平台，該雙軸滑軌平台可移動地設於該底座，該微動壓電平台設於該雙軸滑軌平台上，該量測回授組與該平台組相結合且設有兩單光束雷射干涉儀、一雙光束雷射干涉儀及一反射裝置，該控制組與該平台組及該量測回授組相電性連接且設有一電腦及一控制器，該控制器是與該電腦、雙軸滑軌平台及微動壓電平台相電性連接，提供一方便組裝、成本低且具高精度長行程定位效果之精密定位平台系統者。
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聯繫方式 |
| 聯絡人： 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
 與我連絡 |
| 地址： 632雲林縣虎尾鎮文化路64號 |
電話： 05-631-5561 |
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