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雙光柵訊號量測系統 |
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專利名稱 |
雙光柵訊號量測系統
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專利證書號 |
發明第I414756號
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專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
專利國家 |
台灣, |
發明人 |
覺文郁,劉建宏,鄧雲峰,陳柏宇 |
應用領域 |
精密量測技術類 |
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專利商品特色:
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一種雙光柵訊號量測系統,為光源提供一光束射入穿透光柵後會產生零階與正負一階的繞射光,穿透後的零階繞射光入射到反射光柵後,既會產生一樣的零階與正負一階的反射光,並於穿透光柵產生繞射光,同理穿透後的正負一階繞射光也會反射產生一道垂直入射至穿透光柵的反射光,並產生零階與正負一階的繞射光,經由反射光柵反射並穿透過穿透光柵後的二道正一階繞射光與二道負一階繞射光,分別兩兩重疊並經由左右二邊的分光元件後,再一次的將重疊的光源一分為二,其穿透的重疊光源將入射至位置感測器上,以檢測出物體的三個角度與一個垂直運動方向的位移量,而左右兩組分光鏡所產生的另一道反射的重疊光將經過偏振分光鏡並入射至位置感測器上,藉由分析移動訊號的變化既可判別其模具與工件之間的位移變化量。
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聯繫方式 |
聯絡人: 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
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電話: 05-631-5561 |
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