二自由度奈米級壓電對位平台機構
專利名稱 二自由度奈米級壓電對位平台機構
專利證書號 I410295
專利權人 國立虎尾科技大學
專利國家 台灣,
發明人 覺文郁,劉建宏,鄧雲峰,陳柏宇
應用領域 機械與機電自動化工程類
 
專利商品特色:
一種二自由度奈米級壓電對位平台機構,主要係由一基板、一移動單元、一壓電驅動單元所構成;主要採用壓電致動器作為對位平台之驅動源,每個壓電致動器配合其獨立的撓性元件,並利用X軸與Y軸垂直相交之線性驅動元件之組合,使之無論在X軸Y軸或補正中心基準角度之作動時,不僅能有效消除X軸與Y軸之間的干涉誤差,並可達到微小的解析度,以提供二自由度奈米級壓電對位平台機構之實質效益。



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聯絡人: 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 與我連絡
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