光學式強度型三維表面形貌與顯微量測裝置及方法
專利名稱 光學式強度型三維表面形貌與顯微量測裝置及方法
專利證書號 發明第I436029號
專利權人 國立虎尾科技大學
專利國家 台灣,
發明人 邱銘宏,詹遠生,譚振台,陳昭安
應用領域 光電與電子類
 
專利商品特色:
本發明係有關一種光學式強度型三維表面形貌與顯微量測方法,其包括光源、擴束器、偏極板、第二透鏡、偏極分光鏡、第二物鏡、旋轉平台、四分之一波片、第三透鏡、角度感測器及矩陣式光感測器。將光束投射至待測物,利用光感測陣列元件取出待測物之反射光,由二維影像測量其面積尺寸大小,並由反射光之強度變化(或反射率變量)轉換成高度值,進而繪製成三維之圖像。



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