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氧化鋅奈米線場效電晶體氣體感測裝置 |
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專利名稱 |
氧化鋅奈米線場效電晶體氣體感測裝置
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專利證書號 |
I373137
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專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
專利國家 |
台灣, |
發明人 |
劉偉隆???,謝淑惠 |
應用領域 |
材料與能源工程類 |
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專利商品特色:
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本發明所揭露之氧化鋅奈米線場效電晶體氣體感測裝置係利用金氧半場效電晶體(MOSFET)之原理,以氧化鋅奈米線做為源極與洩極間之電荷載體通道而製成。本發明係一種三極式氣體感測裝置,其不同於一般傳統所用的二極式氣體感測裝置。本發明利用閘極來影響源極與洩極間之通道,即氧化鋅奈米線之電阻,並利用氧化鋅奈米線本身具有高比表面積及n型半導體之特性來大幅度提高裝置對氣體感測之能力。
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聯繫方式 |
聯絡人: 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
與我連絡 |
地址: 632雲林縣虎尾鎮文化路64號 |
電話: 05-631-5561 |
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