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奈米壓電調整裝置 |
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專利名稱 |
奈米壓電調整裝置
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專利證書號 |
M460089
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專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
專利國家 |
, |
發明人 |
覺文郁,沈金鐘,謝東賢,吳家鴻,陳柏宇,潘柏羽 |
應用領域 |
精密量測技術類 |
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專利商品特色:
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一種奈米壓電調整裝置,其係設有一驅動組、一微動組及一回授量測組,該驅動組設有一主架體、一底板及一致動器,該微動組與該驅動組相結合且設有一固定板及複數個壓電元件,各壓電元件設有一壓電致動器及一撓性體,該回授量測組與該微動組相結合且位於該主架體內,該回授量測組設有一下平台、複數個與該微動組壓電元件數量相對應的微調座、複數個雷射位移計及一控制器,經由該控制器控制各壓電元件的作動,進而調整該下平台相對該上平台的角度,藉以構成一在高負荷下可達到高精度位移誤差補償的奈米壓電調整裝置者。
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聯繫方式 |
聯絡人: 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
與我連絡 |
地址: 632雲林縣虎尾鎮文化路64號 |
電話: 05-631-5561 |
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