| |
雷射直寫式奈米週期性結構圖案製程設備 |
|
|
 
 專利名稱 |
雷射直寫式奈米週期性結構圖案製程設備
|
| 專利證書號 |
I405049
|
| 專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
| 專利國家 |
台灣, |
| 發明人 |
|
| 應用領域 |
機械與機電自動化工程類 |
|
|
| |
專利商品特色：
|
本發明關於一種雷射直寫式奈米週期性結構圖案製程設備，設有一平台組、一量測回授組及一雷射直寫頭組，該平台組設有一底座及一混合式移動平台，該量測回授組與平台組相結合且設有一雷射干涉儀、一反射裝置及一訊號接收裝置，該雷射直寫頭組設有一雷射直寫頭、一雷射直寫頭控制介面裝置及一對位介面裝置，該對位介面裝置係與量測回授組及雷射直寫頭控制介面裝置相電性連接，提供一可產生任意圖形及晶格排列之奈米孔洞、突破光學繞射極限縮小記錄點、提高加工速度、精度及加工範圍且成本低之結構圖案製程設備者。
|
聯繫方式 |
| 聯絡人： 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
 與我連絡 |
| 地址： 632雲林縣虎尾鎮文化路64號 |
電話： 05-631-5561 |
|
|
| |
|
 |
|
|
