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兩段式長行程奈米級精密定位系統 |
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 專利名稱 |
兩段式長行程奈米級精密定位系統
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| 專利證書號 |
I379732
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| 專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
| 專利國家 |
台灣, |
| 發明人 |
覺文郁,劉建宏,沈金鐘,林博正,吳嘉鴻,段黎黎,謝東賢,謝東興,陳怡靜,枋仁傑 |
| 應用領域 |
機械與機電自動化工程類 |
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專利商品特色：
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本發明係關於一種兩段式長行程奈米級精密定位系統，其設有一平台組、一量測回授組及一控制組，該平台組設有一底座、一氣浮式平台及一微動壓電平台，該氣浮式平台係設於底座上，該微動壓電平台係設有一微動調整組，該量測回授組係與平台組相結合且設有一雷射干涉儀、一反射裝置及一訊號接收裝置，該雷射干涉儀與訊號接收裝置係設於底座，該反射裝置係與微動壓電平台相結合，而該控制組係與平台組與量測回授組相電性連接且設有一工作站，該工作站設有一電腦及一控制器，藉以提供一方便組裝、成本低且具高精度長行程定位效果之定位系統者。
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聯繫方式 |
| 聯絡人： 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
 與我連絡 |
| 地址： 632雲林縣虎尾鎮文化路64號 |
電話： 05-631-5561 |
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