雷射干涉儀檢測角度誤差之裝置與方法
專利名稱 雷射干涉儀檢測角度誤差之裝置與方法
專利證書號 I398622
專利權人 國立虎尾科技大學
專利國家 台灣,
發明人 覺文郁,楊登宇,劉建宏,徐東暉,陳怡靜
應用領域 機械與機電自動化工程類
 
專利商品特色:
一種雷射干涉儀檢測角度誤差之裝置與方法,主要包括一個雙光束雷射、多個角隅稜鏡與反射鏡,雷射干涉儀所射出的雙光束,分別射入角隅稜鏡後,產生反射光束至該反射鏡,再經由該反射鏡將各反射光束射至該角隅稜鏡,最後會獲得二位移量;當待測系統產生角度誤差時,二位移量之數值會產生差異,將二位移量相減,就能得到相對之位移量,再透過三角函數計算,即可檢測待測系統之俯仰度誤差、偏搖度誤差。



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