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一種壓印平台對準與調平的量測系統 |
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 專利名稱 |
一種壓印平台對準與調平的量測系統
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| 專利證書號 |
I383466
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| 專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
| 專利國家 |
台灣, |
| 發明人 |
覺文郁,劉建宏,陳宏光,謝東賢,鄧雲峰 |
| 應用領域 |
精密量測技術類 |
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專利商品特色：
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一種壓印平台對準與調平的量測系統，主要由一量測平台、一模板夾置平台以及一晶圓夾置平台所構成；該量測平台係供光源由第一相對側及第二相對側垂直射出，該模板夾置平台係與量測平台第一相對側維持一平行的相對位置提供接收與反射光源，該晶圓夾置平台係與量測平台第二相對側維持一平行的相對位置提供接收與反射光源，在每一相對側各設有在量測平台上分別有三光學尺讀取頭、一接收入設光束至反射體的光學讀取頭，在夾置平台上分別個各有四反射標記，每一光學尺讀取頭對一個標記提供位移時進行量測，而光學讀取頭經反射體至反射標記上的光束進行量測角度誤差，因此本發明可同時量測多自由度誤差，且量測精度高，成本也更符合經濟效益。
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聯繫方式 |
| 聯絡人： 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
 與我連絡 |
| 地址： 632雲林縣虎尾鎮文化路64號 |
電話： 05-631-5561 |
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