微型加工機的誤差量測裝置
專利名稱 微型加工機的誤差量測裝置
專利證書號 I387507
專利權人 國立虎尾科技大學
專利國家 台灣,
發明人 劉建宏,李浩瑋,徐識翔
應用領域 精密量測技術類
 
專利商品特色:
一種微型加工機的誤差量測裝置,特別係指一種利用雷射光繞射原理,並透過三維光路分析與光柵繞射之三維方程式,而能用於建立五自由度量測系統,可使微型加工機具在進行微細加工時,能給加工進給系統量測水平與垂直方向的直線度誤差,進一步並可用於量測俯仰度、搖偏度與滾動度之誤差,藉此,可用於建構小型幾何誤差量測技術,並整合於微型加工機具的進給系統內,提供線上幾何誤差的即時量測,以提高微細加工的加工精準度。



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