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氧化鋅奈米柱之紫外光檢測器 |
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專利名稱 |
氧化鋅奈米柱之紫外光檢測器
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專利證書號 |
I357665
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專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
專利國家 |
台灣, |
發明人 |
姬梁文,彭士銘,吳誠智,張天龍,施位勳 |
應用領域 |
光電與電子類 |
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專利商品特色:
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一種氧化鋅奈米柱之紫外光檢測器,其製作方法為先對基板連同其上之晶種層之堆疊結構以低溫化學槽水浴法進行化學反應,該氧化鋅奈米柱陣列的金屬電極在成長過程中,其溶液會造成金屬電極的結構破壞,因此透過光微影技術與二組光罩圖形來保護金屬電極,進而影響光檢測器元件形成之特性,因此能利用光微影技術與光罩圖形相互搭配來解決,完成基板與其上之晶種層的清潔處理後,利用光微影技術定義出光檢測器之主動區域,並同時形成第一電極與第二電極。
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聯繫方式 |
聯絡人: 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
與我連絡 |
地址: 632雲林縣虎尾鎮文化路64號 |
電話: 05-631-5561 |
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