臨界角法結合CCD作物件缺陷量測之方法及裝置
專利名稱 臨界角法結合CCD作物件缺陷量測之方法及裝置
專利證書號 I388817
專利權人 國立虎尾科技大學
專利國家 台灣,
發明人 邱銘宏,林振勤
應用領域 精密量測技術類
 
專利商品特色:
本發明係有關一種臨界角法結合CCD作物件缺陷量測之方法及裝置,其係將良品置於光學掃瞄手段與多次反射稜鏡感測器之間的光路上,再以光學掃瞄手段發出一掃瞄光束穿透或反射良品後至多次反射稜鏡感測器中,當掃瞄光束入射至多次反射稜鏡感測器時,以旋轉手段轉動多次反射稜鏡感測器,使掃瞄光束調整靠近至臨界角以作為基準面的光強度,再以影像擷取裝置擷取基準面光強度以作為基準影像,並以光學掃瞄手段發出掃瞄光束穿透或反射一待測物而入射至該多次反射稜鏡感測器,使掃瞄光束產生微小角度變化而偏離原本角度以造成光強度的變化,而以影像擷取裝置擷取待測物表面光強度以作為測試影像,再以運算手段將基準影像與測試影像進行比對,俾能得到待測物之缺陷資訊者。



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