物體缺陷之量測方法及其裝置
專利名稱 物體缺陷之量測方法及其裝置
專利證書號 I394946
專利權人 國立虎尾科技大學
專利國家 台灣,
發明人 邱銘宏,林振勤
應用領域 精密量測技術類
 
專利商品特色:
本發明係有關一種物體缺陷之量測方法及其裝置,其係將一良品置於該光學掃瞄手段與該角度感測器之間的光路上,以該光學掃瞄手段發出一掃瞄光束穿透或反射該良品後至該角度感測器,當該掃瞄光束入射至該角度感測器時,以該旋轉手段轉動該角度感測器,使該掃瞄光束達到共振角而產生表面電漿共振現象,以作為基準面光強度,再以該影像擷取手段擷取該基準面光強度以作為基準影像,以該光學掃瞄手段發出該掃瞄光束穿透或反射一待測物,當該掃瞄光束入射至該角度感測器時,藉由該待測物表面或內部缺陷使該掃瞄光束偏離共振角而產生待測物光強度,再以該影像擷取手段擷取該待測物表面光強度以作為測試影像,以該運算手段將該基準影像與該測試影像進行比對,進而得到該待測物之缺陷資訊者。



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