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一種利用溶膠凝膠法搭配旋轉塗佈法製作可調整能隙的氧化鋅鎂薄膜之製造方法，係至 |
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 專利名稱 |
一種利用溶膠凝膠法搭配旋轉塗佈法製作可調整能隙的氧化鋅鎂薄膜之製造方法，係至
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| 專利證書號 |
第I364078號
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| 專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
| 專利國家 |
台灣, |
| 發明人 |
姬梁文,張天龍,彭士銘,吳誠智,方得華 |
| 應用領域 |
光電與電子類 |
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專利商品特色：
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本發明係為一種利用溶膠凝膠法搭配旋轉塗佈法製作可調整能隙的氧化鋅鎂薄膜之製造方法，係為利用溶膠凝膠法搭配旋轉塗佈法，於基板上形成含有鎂離子之氧化鋅薄膜，再經由通氧熱退火處理，改善薄膜結晶性，並減少氧化鋅鎂薄膜的氧空缺，其中更能藉由控制鎂離子的含量，製作出不同能隙之氧化鎂鋅薄膜，使其具有高能隙、粗糙度小等光電特性佳之特性，可廣泛應用於光電元件上。
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| 相關圖片：
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聯繫方式 |
| 聯絡人： 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
 與我連絡 |
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電話： 05-631-5561 |
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