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光電式六自由度量測系統 |
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專利名稱 |
光電式六自由度量測系統
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專利證書號 |
I348537
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專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
專利國家 |
台灣, |
發明人 |
卓信鴻,覺文郁,林昌進,陳俊仁 |
應用領域 |
精密量測技術類 |
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專利商品特色:
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本發明涉及工業量測技術,主要為測量待測物六自由度的誤差變化,可應用於半導體業、光電業、電子業及精密機械業等產業,只要有需要微動平台或旋轉件的六自由度量測或校正,即可使用本發明。本發明屬於一種光電式非接觸型量測系統,使用時不會受電磁場影響、沒有探頭磨損的缺點,且架設容易。本發明應用於旋轉件的量測或校正時,雷射塔的雷射光源數量取決於待測旋轉件對於360度校正所需的點數。透過增加架設於雷射塔的雷射光源數量,可提高對於旋轉件360度的取樣點數。本發明的角度量測精度及範圍取決於位置感測器與雷射塔之間的距離及雷射光在反射鏡間的反射次數,可以依實際使用情形調整位置感測器與雷射塔之間的距離及雷射光在反射鏡間的反射次數。
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相關圖片:
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聯繫方式 |
聯絡人: 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
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地址: 632雲林縣虎尾鎮文化路64號 |
電話: 05-631-5561 |
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