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提高可撓式塑膠基板與光學硬化膜附著度之方法及系統 |
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 專利名稱 |
提高可撓式塑膠基板與光學硬化膜附著度之方法及系統
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| 專利證書號 |
I323748
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| 專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
| 專利國家 |
中華民國, |
| 發明人 |
劉代山,吳政洋,黃炳文,廖育柯,賴聖志,莊賦祥 |
| 應用領域 |
光電與電子類 |
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專利商品特色：
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本發明係有關一種提高可撓式塑膠基板與光學硬化膜附著度之方法及系統，主要是利用電漿增強化學氣相沉積系統，並以四甲基矽烷有機液體為源材料，藉由控制該電漿增強化學氣相沉積系統的製程壓力、射頻電漿功率、源材料的流量及沉積時間等參數，而在可撓式塑膠基板上預先沉積一適當厚度之緩衝層薄膜結構，使該層薄膜具有特定的化學鍵結特性並補償可撓式塑膠基板與光學硬化膜間的應力累積，以改善光學硬化膜或各種光學薄膜沉積在可撓式塑膠基板上的附著度特性，提升可撓式塑膠基板應用在光電或光學元件上的實用性與可靠性。
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聯繫方式 |
| 聯絡人： 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
 與我連絡 |
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電話： 05-631-5561 |
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