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奈米級旋轉軸誤差檢測系統 |
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 專利名稱 |
奈米級旋轉軸誤差檢測系統
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| 專利證書號 |
M323050
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| 專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
| 專利國家 |
中華民國, |
| 發明人 |
劉建宏,覺文郁,林文祥 |
| 應用領域 |
精密量測技術類 |
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專利商品特色：
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一種奈米級旋轉軸誤差檢測系統，包括：一雷射光源、一分光鏡、一凹面鏡、以及一四象限感測器所構成；該檢測系統係利用反射原理，以雷射光源產生一準直光束，並經過分光鏡，產生一反射光束射入於凹面鏡，同時產生聚焦光束後，反射於分光鏡上同時並穿透分光鏡形成穿透光束，最後聚焦於四象限感測器，藉由光點位置計算公式，即可測得旋轉軸是否偏移以及偏移的位移量。
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| 聯絡人： 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
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