微尖端電極製造方法及裝置
專利名稱 微尖端電極製造方法及裝置
專利證書號 I323296
專利權人 國立虎尾科技大學
專利國家 中華民國,
發明人 余介文,翁豊在,楊啟全,謝文瑜
應用領域 機械與機電自動化工程類
 
專利商品特色:
本發明係有關一種微尖端電極製造方法及裝置,其主要是針對工作電極以蝕刻液及蝕刻法進行化學蝕刻,進而使該工作電極具有微米尺寸之尖端,其方法是將工作電極置入蝕刻槽內的蝕刻液中,並以電腦及流量控制閥來控制該蝕刻液排出之流速及流量,進而製成特定形狀且具有微米尺寸尖端的電極,藉以使電極可被大量生產並能達到微米尺寸,以節省加工時間及降低成本。

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