一種繞射式六自由度光電量測系統
專利名稱 一種繞射式六自由度光電量測系統
專利證書號 I320480
專利權人 國立虎尾科技大學
專利國家 中華民國,
發明人 卓信鴻,覺文郁,林昌進,陳俊仁,楊登宇
應用領域 精密量測技術類
 
專利商品特色:
一種繞射式六自由度光電量測系統,係由可放置多道雷射光源的雷射塔、四個二維位置感測器及兩個反射式光柵所組成。本發明將雷射塔置放於待測物之上,並將四個二維位置感測器及兩個反射式光柵藉由系統夾治具放置於特定的位置上,使得四個二維位置感測器可以接受到兩個反射式光柵所產生的繞射光;雷射塔發出的雷射光會投射在反射式光柵上,並產生繞射光,透過光的繞射可以增加本發明的系統精度,本發明可計算得到待測物的六個自由度變化以及應用於微動平台的六自由度量測及旋轉件360度六自由度校正。

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