一種應用非接觸式電光探測球型格狀陣列基板之測試系統與方法
專利名稱 一種應用非接觸式電光探測球型格狀陣列基板之測試系統與方法
專利證書號 I285743
專利權人 國立虎尾科技大學
專利國家 中華民國,
發明人 郭文凱
應用領域 光電與電子類
 
專利商品特色:
本發明為一種應用非接觸式電光探測球型格狀陣列基板之測試系統與方法,該系統包括有一平移台,用來承載基板並可移動,該基板表面具有複數之覆晶板,藉由一訊號產生器提供測試訊號,並以一電光探針偵測覆晶板的電場變化,經由一鎖相放大器來研判覆晶板的連接是否良好,而測試系統係以個人電腦控制。測試時先在鄰近兩覆晶板上分別加上相同強度但是有180度相位差的測試訊號,而後偵測覆晶板上方的電場變化,當任一覆晶板附近的電光訊號較其它覆晶板的強度為低時,可藉此研判受測之覆晶板沒有完整連接。

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