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表面電漿波微小角度之測量方法 |
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 專利名稱 |
表面電漿波微小角度之測量方法
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| 專利證書號 |
I250269
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| 專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
| 專利國家 |
中華民國, |
| 發明人 |
邱銘宏,王信福 |
| 應用領域 |
光電與電子類 |
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專利商品特色：
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本發明係有關於一種表面電漿波微小角度之測量方法，其係建立相位差或反射率之比對參數值資料庫，並採用一可產生表面電漿共振效果之稜鏡，該稜鏡反射邊設有至少一層金屬膜，並將待測物置於與該稜鏡同步轉動的位置上，並以外差光源或線性偏極雷射光源經分光鏡而分為反射光與透射光，以該反射光為參考光，而該透射光為測試光，其中，測試光導向該稜鏡，並使入射至該稜鏡斜邊的入射角在表面電漿共振角的附近，利用光偵測器測得該參考信號，並利用光偵測器測得該測試光之第一測試信號，待測物連同稜鏡做小角度旋轉時，產生第二參考信號及第二測試信號，利用第一、第二參考信號及第一、第二測試信號，透過電腦的計算及與所建立的該相位差或反射率比對參數值資料庫做比對，進而換算出該稜鏡與該待測物旋轉方向與旋轉的角度者。
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