以像散法檢測傾角與鎖零的方法及裝置
專利名稱 以像散法檢測傾角與鎖零的方法及裝置
專利證書號 I262291
專利權人 國立虎尾科技大學
專利國家 中華民國,
發明人 徐力弘,傅毓芬
應用領域 光電與電子類
 
專利商品特色:
本發明係有關一種以像散法檢測傾角與鎖零的方法及裝置,主要是將光源以繞射元件分成空間對稱的若干繞射光束與非繞射光束,使穿透分光鏡的直流非繞射光束(0階光,光軸方向)用於共軛鎖焦的工作,亦即該非繞射光束經分光鏡及物鏡後而射向反射體表面,經該反射體反射後循原路徑穿過分光鏡至檢測器,再由致動器使該反射體上之反射點與該檢測器的檢測面共軛,而該對稱於X軸與Y軸(垂直於光軸)的+/-1階繞射光束經反射體反射後投射在分別分佈在X軸與Y軸上的兩對檢測器上,根據該兩對檢測器的差動信號判別該反射體的傾斜角度,藉以達到精準量測之目的。

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