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繞射光柵元件模仁及光柵元件之製造方法 |
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 專利名稱 |
繞射光柵元件模仁及光柵元件之製造方法
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| 專利證書號 |
I305278
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| 專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
| 專利國家 |
中華民國, |
| 發明人 |
莊為群,李昆益,陳嘉倫 |
| 應用領域 |
光電與電子類 |
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專利商品特色：
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本發明係有關一種繞射光柵元件模仁及光柵元件之製造方法,其係將光阻均勻地分散塗佈在該基板一面上,並將光柵圖案感光在該光阻上,且在該光阻具有光柵圖案的表面鍍上一層具導電性的第一金屬層,使該光阻表面具有導電性,再將已具有該光阻的該基板置於電鑄槽內進行電鑄加工,使該第一金屬層相反於該光阻的另面上沉積第二金屬層,直至該第二金屬層具有一適當厚度再停止電鑄加工,再將該基板自該光阻上脫除,並以光阻去除液將該光阻溶解去除,取出餘下的繞射光柵金屬模仁,再以該模仁應用在微熱壓成形技術軟式印刷之複製成形技術,以達到大量翻製具有較佳深寬比且特性穩定的繞射光柵元件之目的。
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