|
角度偏移顯微裝置及方法 |
|
|
專利名稱 |
角度偏移顯微裝置及方法
|
專利證書號 |
I274150
|
專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
專利國家 |
中華民國, |
發明人 |
邱銘宏,施柏源,胡國興 |
應用領域 |
光電與電子類 |
|
|
|
專利商品特色:
|
本發明係有關於一種角度偏移顯微裝置及方法,在於提供一種結合共光程外差干涉及表面電漿共振(SPR)的顯微方法,利用外差光源射向待測物,經待測物反射或折射而為測試光,使該測試光入射稜鏡而產生表面電漿共振,取得其測試光兩邊界光之相位差,再以該二相位差的變化量而求得到該測試光的角度偏移量,再依該角度偏移量計算出該待測物的位移量,或高度差,或折射率差,再以掃描方式求出待測物之表面起伏或折射率分布,並作圖顯示或輸出結果,藉以提高光學顯微鏡之解析度與量測範圍者。
|
相關圖片:
|
|
|
|
聯繫方式 |
聯絡人: 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
與我連絡 |
地址: 632雲林縣虎尾鎮文化路64號 |
電話: 05-631-5561 |
|
|
|
|
|
|
|