角度偏移顯微裝置及方法
專利名稱 角度偏移顯微裝置及方法
專利證書號 I274150
專利權人 國立虎尾科技大學
專利國家 中華民國,
發明人 邱銘宏,施柏源,胡國興
應用領域 光電與電子類
 
專利商品特色:
本發明係有關於一種角度偏移顯微裝置及方法,在於提供一種結合共光程外差干涉及表面電漿共振(SPR)的顯微方法,利用外差光源射向待測物,經待測物反射或折射而為測試光,使該測試光入射稜鏡而產生表面電漿共振,取得其測試光兩邊界光之相位差,再以該二相位差的變化量而求得到該測試光的角度偏移量,再依該角度偏移量計算出該待測物的位移量,或高度差,或折射率差,再以掃描方式求出待測物之表面起伏或折射率分布,並作圖顯示或輸出結果,藉以提高光學顯微鏡之解析度與量測範圍者。

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