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一種在塑膠基板上製作二氧化矽硬化膜之材料與方法 |
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 專利名稱 |
一種在塑膠基板上製作二氧化矽硬化膜之材料與方法
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| 專利證書號 |
I316562
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| 專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
| 專利國家 |
中華民國, |
| 發明人 |
劉代山,廖育柯,吳政洋,賴聖志 |
| 應用領域 |
材料與能源工程類 |
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專利商品特色：
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本發明係有關一種在塑膠基板上製作二氧化矽硬化膜之材料與方法，主要係指可在低溫環境下，以具有較穩定、易操作且低設備成本的四甲基矽烷有機分子為製程之其一源材料，並加入適當比例的氧氣為另一源材料參與化學反應，而於塑膠基板表面以電漿增強化學氣相沉積方法製作二氧化矽硬化膜，讓塑膠基板表面沉積兼具優異均勻性與硬度之二氧化矽硬化膜，藉此，透過上述的材料與其製作方法，不僅可取代傳統利用浸漬(dipping)法沉積時造成薄膜厚度不均勻的缺點，而且有助提高塑膠基板於產業之附加價值與競爭力。
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| 聯絡人： 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
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