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一種利用光柵繞射原理所建立之四自由度量測系統 |
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專利名稱 |
一種利用光柵繞射原理所建立之四自由度量測系統
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專利證書號 |
585990
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專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
專利國家 |
中華民國, |
發明人 |
覺文郁,劉建宏,陳俊仁,陳朝貴 |
應用領域 |
精密量測技術類 |
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專利商品特色:
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本發明為一種利用光柵繞射原理所建立之四自由度量測系統,係利用一雷射光入射至一反射式光柵上,產生零階、正負一階繞射光;並將正負一階繞射光,分別由兩位置感測器接收,當光柵偏擺時會改變正負一階繞射光方向,亦改變入射至兩位置感測器之位置,當雷射光入射至位置感測器之位置不同時,兩組位置感測器輸出兩組二維位移訊號,利用該兩組二維位移訊號,可計算出一垂直光柵面方向自由度位移量與繞三軸旋轉角度之三自由度變化量,如此構成一四自由度量測系統。該四自由度量測系統可與業界量測設備結合,增加其多自由度量測,以提供同時量測多自由誤差。
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相關圖片:
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聯絡人: 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
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電話: 05-631-5561 |
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