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可量測五自由度訊號系統 |
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專利名稱 |
可量測五自由度訊號系統
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專利證書號 |
591199
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專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
專利國家 |
中華民國, |
發明人 |
覺文郁,劉建宏,李龍添,林榮慶,蔡銘焜 |
應用領域 |
精密量測技術類 |
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專利商品特色:
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一種可量測五自由度訊號系統,係利用一雷射光束入射至反射鏡後再反射至一光柵上,以產生兩道正負一階繞射光,並將兩道正負一階繞射光分別經兩組半反射鏡接收後分光而產生兩組反射光與穿透光;該反射光入射干涉鏡、透鏡組以及光電二極體陣列後,量測基準會由波長變為光柵常數,以獲得移動方向一組平移自由度位移量;另,分光後之兩組穿透光入射至兩組雷射四象儀上,該光柵會因移動方向的偏擺而改變繞射光束方向,也因此可獲得一組垂直光柵面方向自由度位移量與繞三軸旋轉角度之三自由度變化量,而達到可量測五自由度訊號之系統。
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聯絡人: 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
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