一種利用平面光學尺檢測六自由度平台誤差的方法
專利名稱 一種利用平面光學尺檢測六自由度平台誤差的方法
專利證書號 584707
專利權人 國立虎尾科技大學
專利國家 中華民國,
發明人 覺文郁,劉建宏,徐東暉,周敬棠,鄭凱安,鄧雲峰
應用領域 精密量測技術類
 
專利商品特色:
一種利用平面光學尺檢測六自由度平台誤差的方法,主要係利用讀取頭、光纖以及平面光學尺,加以檢測六自由度的平台誤差。本方法係藉由量測路徑之規劃,逐一的排除二維六自由度平台之十三個誤差或三維六自由之二十一個誤差,使得於平台上進行加工或量測工作時,不會因為平台的誤差而影響了工件尺寸的精準度,以提高產品之品質。

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