一種使用光柵式干涉儀之三維量測系統
專利名稱 一種使用光柵式干涉儀之三維量測系統
專利證書號 588152
專利權人 國立虎尾科技大學
專利國家 中華民國,
發明人 覺文郁,劉建宏,李龍添,鄭友仁,林榮慶
應用領域 精密量測技術類
 
專利商品特色:
一種使用光柵式干涉儀之三維量測系統,該系統乃是利用光柵之特性,並配合雷射二極體入射分光鏡之後,利用細密反射式光柵間距做為量測尺規,以光柵繞射與都卜勒原理為理論基礎,其包含有一雷射二極體、一分光鏡組、一反射鏡組、一光柵、三透鏡組、一光檢測器組以及一平台等,配合正交訊號之解相位與繞射光空間繞射方向變化,使該光柵量測光學元件微組化,使其成為一個具有多自由度的光學量測系統。

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