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一種奈米級雙軸輪廓量測裝置 |
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 專利名稱 |
一種奈米級雙軸輪廓量測裝置
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| 專利證書號 |
I224188
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| 專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
| 專利國家 |
中華民國, |
| 發明人 |
覺文郁,鄧雲峰 |
| 應用領域 |
精密量測技術類 |
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專利商品特色：
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一種奈米級雙軸輪廓量測裝置，包括有一雷射頭a；一半反射鏡；一反射鏡組；一分光鏡組；一角隅稜鏡組；一接收器組以及一平台所組成；本發明係利用一雷射頭a發射一雷射光束a直接穿過一個半反射鏡分成兩道光，其中一道穿透光直接射入其中一個軸(如X軸)向上的分光鏡並對其量測方向進行量測，而另外一道反射光則經過一反射鏡組垂直的入射另一個軸(如Y軸)再經由一分光鏡b進行量測，最後再分別用一接收器組接收X軸及Y軸的訊號，再將抓到的訊號用電腦做訊號處理形成一個圓，而且也可藉由上述之架構擺設方法同時測量到一平台的X軸及Y軸的位移量。
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| 相關圖片：
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| 聯絡人： 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
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