單軸六自由度光學量測系統及方法
專利名稱 單軸六自由度光學量測系統及方法
專利證書號 I232923
專利權人 國立虎尾科技大學
專利國家 中華民國,
發明人 覺文郁,劉建宏,徐承駿
應用領域 精密量測技術類
 
專利商品特色:
本發明係有關於一種單軸六自由度光學即時量測方法與系統,其係在基準座上朝移動平台發射三道或三道以上的雷射光,利用該基準座上所發射之三道或三道以上的雷射光經該移動平台反射後的干涉作用,及其中二個對稱的雷射光束部份垂直反射,再經外向垂直反射、偏移回向反射與垂直反射後,以二維位置感測器擷取其因位置變化所產生的電壓改變量,進而計算獲得移動平台之移動位移、搖擺度誤差、水平直度誤差、垂直直度誤差、滾動度誤差、俯仰角度誤差,藉以達到一次精確地量取平台運動之六個自由度誤差,大幅降低量測所需時間,有效提昇生產效率,及能將各元件簡潔分製成兩個部份而可為有效量產的檢測設備等目的者。

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