奈米級五軸共平面微動平台
專利名稱 奈米級五軸共平面微動平台
專利證書號 I238752
專利權人 國立虎尾科技大學
專利國家 中華民國,
發明人 覺文郁,吳家鴻,鄧雲峰
應用領域 精密量測技術類
 
專利商品特色:
本發明係有關一種奈米級五軸共平面微動平台,其係以撓性體所架構而成,並能達到五自由度的運動,其包括有基座、覆設在該基座上方的平台、與該平台連接的連接座、多數個設在基座上的致動器、多數個軸向可撓之第一撓性體,每一該第一撓性體之第一端連接一致動器,且每一該第一撓性體之第二端連接在該連接座;以及多數個具有可撓性且能垂直轉換該致動器致動力方向之第二撓性體,該第二撓性體具有輸入端及與該輸入端垂直的輸出端,俾能達到具五軸之微動機構,並可提昇平台之定位精度者。

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