繞射式三角雷射讀頭及其檢測誤差之方法
專利名稱 繞射式三角雷射讀頭及其檢測誤差之方法
專利證書號 I243888
專利權人 國立虎尾科技大學
專利國家 中華民國,
發明人 覺文郁,劉建宏,蔣仲智,孫堅哲,陳孟君,林宏鎰,陳朝貴
應用領域 精密量測技術類
 
專利商品特色:
本發明係有關於一種繞射式三角雷射讀頭及其檢測誤差之方法,其係在移動平台上設反射式光柵,並配合設置雷射光源及二個位置靈敏感測器而相對應於該光柵形成適當的位置座標關係,以雷射光源射出雷射光束,並利用偏極分光鏡將雷射光束分成p極光(穿透光)與s極光(反射光),並以相位延遲波片使s極光(反射光)相位延遲,並打到設在該平台上的反射式光柵上,再以反射式光柵繞射而產生零階繞射光與正一階繞射光,使零階繞射光再一次打回該波片,並經由該波片打入偏極分光鏡,再由偏極分光鏡的p極光(穿透光)打入其一該位置靈敏感測器,並使該正一階繞射光打入另一該位置靈敏感測器,再以該二個位置靈敏感測器所測得之零階繞射光與正一階繞射光的位置訊號,而計算出該光柵暨該平台的實際位移值及角度的誤差變化值。

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