一種線性雙軸幾何誤差之量測裝置
專利名稱 一種線性雙軸幾何誤差之量測裝置
專利證書號 I245878
專利權人 國立虎尾科技大學
專利國家 中華民國,
發明人 覺文郁,劉建宏,黃學良
應用領域 精密量測技術類
 
專利商品特色:
本發明為一種線性雙軸幾何誤差之量測裝置。此系統包含了四組光纖位移計、四組二維光學讀頭及一個二維光柵刻度尺平板,該二維光學讀頭及二維光柵刻度尺平板合稱格子編碼器。將四組光纖位移計與四組二維光學讀頭分別放置於二維光柵刻度尺平板上。雙軸工作平台的架構主要是利用兩軸滾珠導螺桿所建立之平台,當雙軸工作平台在動作時會產生共十三個的幾何轉動誤差,因此藉由本發明得在運動的過程中將這十三個幾何轉動誤差精準的量測出來,並加以校正與補償。


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