一種繞射式角定位五自由度量測裝置
專利名稱 一種繞射式角定位五自由度量測裝置
專利證書號 I249609
專利權人 國立虎尾科技大學
專利國家 中華民國,
發明人 覺文郁,劉建宏,李龍添
應用領域 精密量測技術類
 
專利商品特色:
本發明係利用光學干涉及繞射原理的一種繞射式角定位五自由度量測裝置,整個系統架構包含一光源、一反射式圓柱形光柵、三分光鏡、二位置感測器、一透鏡組、一光電二極體陣列與一待測旋轉盤;其中利用一光電二極體陣列偵測干涉條紋變化量,可量測待測旋轉盤旋轉的角位移變化量,利用兩個位置感測器偵測四個位置變化量,可同時量測待測旋轉盤的兩個偏擺誤差及兩個徑向誤差。

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