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一種繞射式角定位多自由度量測裝置 |
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專利名稱 |
一種繞射式角定位多自由度量測裝置
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專利證書號 |
I249610
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專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
專利國家 |
中華民國, |
發明人 |
覺文郁,劉建宏,李龍添,黃學良 |
應用領域 |
精密量測技術類 |
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專利商品特色:
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本發明為一種繞射式角定位多自由度量測裝置。整個系統架構包含一反射式繞射光柵、一參考旋轉盤、一待測轉盤、一雷射二極體與兩個位置感測器。一般旋轉軸旋轉軸誤差源可分成六個分別為三個位置誤差(δX(θ)、δY(θ)、δZ(θ)),兩個角度偏擺誤差εX(θ)、εY(θ)及一個Z軸的角度定位誤差εZ(θ)。本架構可以精確量的量測出Z軸的角度定位誤差εZ(θ)、 Y軸的水平位置誤差εY(θ),甚至是X軸的偏擺誤差εX(θ)與Y軸的偏擺誤差εY(θ),可以用來對目前工業上的精密儀器,做準確的定位與校正。
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相關圖片:
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聯絡人: 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
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