一種繞射式角定位多自由度量測裝置
專利名稱 一種繞射式角定位多自由度量測裝置
專利證書號 I249610
專利權人 國立虎尾科技大學
專利國家 中華民國,
發明人 覺文郁,劉建宏,李龍添,黃學良
應用領域 精密量測技術類
 
專利商品特色:
本發明為一種繞射式角定位多自由度量測裝置。整個系統架構包含一反射式繞射光柵、一參考旋轉盤、一待測轉盤、一雷射二極體與兩個位置感測器。一般旋轉軸旋轉軸誤差源可分成六個分別為三個位置誤差(δX(θ)、δY(θ)、δZ(θ)),兩個角度偏擺誤差εX(θ)、εY(θ)及一個Z軸的角度定位誤差εZ(θ)。本架構可以精確量的量測出Z軸的角度定位誤差εZ(θ)、 Y軸的水平位置誤差εY(θ),甚至是X軸的偏擺誤差εX(θ)與Y軸的偏擺誤差εY(θ),可以用來對目前工業上的精密儀器,做準確的定位與校正。

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