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一種可檢測高速循軌性能裝置 |
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專利名稱 |
一種可檢測高速循軌性能裝置
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專利證書號 |
I243886
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專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
專利國家 |
中華民國, |
發明人 |
覺文郁,陳俊仁,林民彰,莊哲豪 |
應用領域 |
精密量測技術類 |
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專利商品特色:
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本發明係關於一種可檢測高速循軌性能裝置,是由二維置置感測器及雷射光源所組成,其主要之功能在於檢測各式機台之工作平台在各種速度運動下的循軌性能。目前一般的循軌性能檢測裝置主要有球桿(Ball Bar)及格子編碼器(Grid Encoder),此兩種檢測裝置皆有其功能限制,並不能使用於各種循軌軌跡之高速循軌檢測。而本發明具有架設容易、檢測精度高、適合各種循軌軌跡之測試及低成本之特性。本發明之量測解析度可達1微米,可量測平台進率最大可至60公尺/分鐘以上。
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相關圖片:
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聯繫方式 |
聯絡人: 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
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電話: 05-631-5561 |
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