| |
一種雙軸五自由度量測裝置與方法 |
|
|
 
 專利名稱 |
一種雙軸五自由度量測裝置與方法
|
| 專利證書號 |
I263036
|
| 專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
| 專利國家 |
中華民國, |
| 發明人 |
覺文郁,劉建宏,鄧雲峰,林修德 |
| 應用領域 |
精密量測技術類 |
|
|
| |
專利商品特色：
|
一種雙軸五自由度量測裝置及方法，主要係於工作平台的X軸與Y軸方向分別架設以微型三自由度量測系統，該微型三自由度量測系統乃包括有雷射干涉儀、分光鏡、反射鏡、聚焦透鏡及四象限感測器之組成；當工作平台移動時，藉由X軸與Y軸方向各具之微型三自由度量測系統的設計，可同時量測出其雙軸的線性位移量(Displacement)、俯仰度誤差量(Pitch)、搖偏角度誤差量(Yaw)和滾動度誤差量(Roll)，據此形成一種有效且可同時精準計算出雙軸五自由度誤差量訊號之奈米量測技術。
|
| 相關圖片：
|
|
|
|
聯繫方式 |
| 聯絡人： 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
 與我連絡 |
| 地址： 632雲林縣虎尾鎮文化路64號 |
電話： 05-631-5561 |
|
|
| |
|
 |
|
|
