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一種奈米級旋轉軸誤差量測裝置 |
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 專利名稱 |
一種奈米級旋轉軸誤差量測裝置
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| 專利證書號 |
I260394
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| 專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
| 專利國家 |
中華民國, |
| 發明人 |
覺文郁,劉建宏,吳星助,黃學良 |
| 應用領域 |
精密量測技術類 |
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專利商品特色：
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一種奈米級旋轉軸誤差量測裝置，其主要包括：一雷射光源、一BS分光鏡、一角隅稜鏡、一反射鏡、一光柵、一第一分光鏡、一第二分光鏡、一第三分光鏡、一第一光路量測單元以及一第二光路量測單元，其中該雷射光源係能入射，於旋轉軸上之角隅稜鏡，當旋轉軸有迴轉誤差時，會造成繞射光的變化，進而影響到反射光打到光柵上，其可由光檢知器上之信號位置變化，再經由數學運算後而得到其平移誤差值。
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| 相關圖片：
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聯繫方式 |
| 聯絡人： 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
 與我連絡 |
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電話： 05-631-5561 |
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