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一種應用角隅菱鏡與四象限感測器建立奈米級解析度之三軸振動量測裝置 |
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 專利名稱 |
一種應用角隅菱鏡與四象限感測器建立奈米級解析度之三軸振動量測裝置
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| 專利證書號 |
I271513
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| 專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
| 專利國家 |
中華民國, |
| 發明人 |
覺文郁,劉建宏,謝東賢,謝奇辰 |
| 應用領域 |
精密量測技術類 |
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專利商品特色：
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一種應用角隅菱鏡與四象限感測器建立奈米級解析度之三軸振動量測裝置,其主要包括:一雷射光源、一第一分光鏡、一第二分光鏡、一第三分光鏡、一角隅菱鏡組以及一四象限感測器組,係利用兩個設計正交之角隅菱鏡治具置放於待測物上,並應用一準直雷射光源與光路設計,使雷射光源分別射入設計正交之角隅菱鏡上,反射後分別再由兩個四象限位置感測器接收反射光點位置,當角隅菱鏡有一橫向偏移時,將使反射雷射光放大兩倍偏移,因此可提高兩倍解析度,並藉由兩個四象限位置感測器,可同時精確的量測出三軸振動位移量。
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| 相關圖片：
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聯繫方式 |
| 聯絡人： 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
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電話： 05-631-5561 |
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