| |
即時量測平台角度誤差之光學式量測單元及其方法 |
|
|
 
 專利名稱 |
即時量測平台角度誤差之光學式量測單元及其方法
|
| 專利證書號 |
I274139
|
| 專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
| 專利國家 |
中華民國, |
| 發明人 |
劉建宏,覺文郁,方得華,姬梁文,謝奇辰,徐東暉 |
| 應用領域 |
精密量測技術類 |
|
|
| |
專利商品特色：
|
一種即時量測平台角度誤差之光學式量測單元及其方法，係於平台上利用夾治具將光學尺、以及由光源體、分光鏡(或1/4λ波片及偏極分光鏡)、準直透鏡、及四象限位移感測器所組成之光學式量測單元對準；藉該光源體射出先通過分光鏡(或1/4λ波片、再通過偏極分光鏡)，由分光鏡進行分光，以取得之反射光，再經準直透鏡透後形成準直的雷射光束，再入射至光學尺上，產生繞射光；當線性平台移動時的角度誤差，使得準直光束照射在光柵上的入射方向有角度變化，令其所產生的零階繞射光方向改變；利用零階繞射光的反射方向改變使得反射後的光再通過一次分光鏡(或1/4λ波片後再穿過偏極分光鏡)後，直接聚焦在四象限位移感測器不同位置上，即求得量測結果。
|
| 相關圖片：
|
|
|
|
聯繫方式 |
| 聯絡人： 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
 與我連絡 |
| 地址： 632雲林縣虎尾鎮文化路64號 |
電話： 05-631-5561 |
|
|
| |
|
 |
|
|
