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微動機構 |
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 專利名稱 |
微動機構
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| 專利證書號 |
I262117
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| 專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
| 專利國家 |
中華民國, |
| 發明人 |
覺文郁,吳家鴻,徐錦衍,盧丙晏,邱仁志,蔡尚谷 |
| 應用領域 |
精密量測技術類 |
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專利商品特色：
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本發明涉及一種微動機構，特別係指一種是利用不同撓性體設計出之微動機構，該微動機構包含有一基座、一撓性體架構及一位移感測組，將撓性體架構設置於基座上，將位移感測組連接於基座上，使撓性體架構作動進行位置移動，再以位移感測組來做位置回饋，此微動機構利用電腦控制D/A卡，再驅動壓電晶體分別推動微動機構之X、Y、Z、θ1、θ2五個方向，再藉由位移感測組來作回饋，傳回數值於電腦再作補償，透過上述的設計，由於撓性體與平台之間是為緊密連結，因此比起一般所設計之微動機構大大的改善其磨擦問題，使本發明運作不受非線性摩擦的影響，相較於一般所設計微動機構之自由度，大都為X、Y、Z之三軸之線性運動方向而言，本發明可以做到五軸的運動，更是一個突破。增加在其它方向軸的運動，因此在使用上可以更為靈活。
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